用于MEMS的PZT壓電薄膜的制備及其微結(jié)構(gòu)和電性能的研究

本文用溶膠一凝膠(S01-gel)技術(shù)，以鋯的無機(jī)鹽(硝酸鋯)、醋酸鉛、鈦酸丁脂為原料，在Pt／Ti/Si02/Si的基片上制各了Pbl1+x(ZryTil-y)03壓電薄膜，得到了0.5微米厚的PZT薄膜。系統(tǒng)地研究了PZT薄膜的制備工藝、微結(jié)構(gòu)和介電、鐵電性能及它們的相關(guān)性。