探討溶膠凝膠工藝制備PZT薄膜

介紹溶膠-凝膠法制備PZT鐵電薄膜的工藝過程，探討影響穩定溶膠配制的原材料、溶劑及溶液的pH值選取。分析催化劑和添加劑在提高薄膜質量方面的作用機理，理論上闡述了基片和PbTiO3過渡層對促進PZT薄膜晶化的影響。提出優化溶膠-凝膠技術的關鍵措施。利用優化工藝對采用無機鹽硝酸鋯， 通過甩膠沉積在α-Al2O3基片上的PZT薄膜的微觀表面形貌和相結構進行了觀察。