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		影響磁控濺射均勻性的因1
		
    
	
    
		
		
    
	
    
	
    
        
    
			
			
    
				
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                磁控濺射均勻性
    
        
    

		
    
			
    
				
    文檔格式：
    
					
    .doc
    
					
    文檔大小：
    
					
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    文檔標簽：
    
				
    
					濺射
					磁控
					均勻性
					kdi
					
    
			
    
			
    
				
    系統(tǒng)標簽：
    
				
    
					均勻性
					磁控濺射
					磁場
					送氣
					膜厚
					厚度均勻性
					
    
			
    
			
    
	
    
	
    
		
    
                
    
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    藏    82    
		
    
	
    
	
    
		
		
		
	
    

    






















    

    















    











 






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