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		【新能源開發技術】多晶硅錠生產技術原理
		
    
	
    
		
		
    
	
    
	
    
        
    
			
			
    
				
    本文檔由 精品庫 分享于2012-10-22 10:56
    
			
    
			
    
                一、   引言    二、   多晶爐內熱場與硅錠的組織結構    三、   定向凝固時硅中雜質的分凝    四、   定向凝固硅晶體生長工藝方法    五、   熱交換法多晶爐型    六、   熱交換法工藝討論    七、   結晶爐結構類型的選擇    八、   多晶硅片的高效率、高質量生產方向
    
        
    

		
    
			
    
				
    文檔格式：
    
					
    .ppt
    
					
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					研究報告
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					硅錠
					定向凝固
					界面處
					結晶
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